1. 光配向設備 —— LCD Cell段高端屏制造


        SPA255/20

        SPA245/10

        SPA200系列光配向設備主要應用于IPS TFT-LCD高端顯示屏的配向工藝,可替代傳統的摩擦配向設備。該系列設備能滿足4.5代、5代、6代或更高世代產線光配向制程需求。
           產品特征

        ● 優異的光學均勻性

        ● 精確的偏光角控制

        ● 良好的熱控制

        ● 優異的載臺性能

           主要技術參數
        型號 SPA245 SPA255
        波長 254nm/ 313nm/ 365nm 254nm/ 313nm/ 365nm
        偏光角精度 ±0.08° ±0.08°
        照度均勻性 < 5% < 5%
        基板尺寸 730mm×920mm 1100mm×1300mm
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