1. 金屬掩模測量設備 —— AM-OLED張網檢測


        SOC260

        SOC260主要應用于G6產線蒸鍍金屬掩模的TP/CD檢測。
           產品特征

        ● 龍門氣浮結構

        ● 多自由度激光干涉儀

        ● 高精度

        ● 高效率

        ● 可配置不同的照明方式

        ● 可靠的溫度控制系統

           主要技術參數

        型號

        SOC260 

        線寬測量重復性

        100nm@3sigma(On Metal Mask)

        線寬測量精度

        ±300nm(On Mapping Glass)

        長寸測量重復性

        300nm@3sigma(On Mapping Glass)

        長寸測量重復性

        500nm@3sigma(On Metal Mask)

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